製程冷卻過濾器AT-PCW-3F-01

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設備巡檢紀錄 - 製程冷卻過濾器檢查表

檢查項目 參考值 單位 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31
過濾器進水壓力 KG 5.5 5.5 5.6 5.6 5.6 5.6 5.5 5.5 5.6 5.6 5.6 5.6 5.5 5.5 NA 5.6 5.6 NA NA 5.6
過濾器出水壓力 KG 5 5 4.9 4.9 4.9 4.9 4.6 4.5 4.9 4.9 4.9 4.9 4.5 4.5 NA 4.9 4.9 NA NA 4.5
備註 1.(V):正常/(X):異常;有操作參數則需填入檢查數據。 2.若該設備無此項檢查項目時,請填寫NA。 3.此表單由廠房設施部存查,保存期限三年。
紀錄者 黃立凱 黃立凱 黃志銘 黃志銘 黃志銘 黃志銘 康晉昇 康晉昇 黃志銘 黃志銘 黃志銘 黃志銘 康晉昇 康晉昇 黃志銘 黃志銘 康晉昇

設備異常紀錄

此設備尚未開立異常單

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