華泰廠設電子系統

檢查項目	參考值	單位	1	2	3	4	5	6	7	8	9	10	11	12	13	14	15	16	17	18	19	20
出口露點溫度	≦-20	℃	-75	-40	-71	-55	-70	-64	-41	-68	-78	-52	-71	-52	-70	-75	-68	-68	-70	-76	-65	-68
使用桶槽溫度		℃	24	24	24	23	24	23	25	24	25	24	23	25	25	23	24	24	25	23	24	24
使用桶槽壓力			100	100	7	7	7	7.6	6.5	7	7	7	7.7	7.7	6.5	7	7.3	6.5	6.4	7	6.6	6.2
再生桶槽溫度	15~140	℃	36	72	39	NA	39	NA	NA	32	36	NA	39	NA	36	NA	36	NA	34	NA	NA	31
加熱器溫度		℃	182	58	180	75	180	83	58	108	178	77	187	82	177	123	192	103	185	124	92	186
鼓風機壓力			0	0	NA	NA	NA	NA	NA	NA	NA	NA	NA	NA	NA	NA	NA	NA	NA	NA	NA	NA
使用桶槽左			NA	V	V	NA	NA	V	NA	V	NA	V	V	NA	NA	V	V	NA	NA	V	NA	NA
使用桶槽右			V	NA	NA	V	V	NA	V	NA	V	NA	NA	V	V	NA	NA	V	V	NA	V	V
再生桶槽左			V	NA	NA	NA	V	NA	NA	NA	V	NA	NA	NA	V	NA	NA	NA	V	NA	NA	V
再生桶槽右			NA	NA	V	NA	NA	NA	NA	V	NA	NA	V	NA	NA	NA	V	NA	NA	NA	NA	NA
前置過濾器壓差 (綠色:正常/紅色:異常)			NA	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V
後置過濾器壓差(一段) (綠色:正常/紅色:異常)			NA	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V
後置過濾器壓差(二段) (綠色:正常/紅色:異常)			NA	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V
却水器檢查			NA	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V
備註	1.(V)：正常／(X)：異常；有操作參數則需填入檢查數據。 2.若該設備無此項檢查項目時，請填寫NA。 3.此表單由廠房設施部存查，保存期限三年。
紀錄者			洪耀懋	洪耀懋	王清雲	王清雲	王清雲	王清雲	張家韋	張家韋	王清雲	王清雲	王清雲	王清雲	張家韋	張家韋	王清雲	王清雲	王清雲	王清雲	張家韋	張家韋

DELTECH ZP4300 吸附式乾燥機HQ-MDM-B2-03