| 檢查項目 | 參考值 | 單位 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 | 12 | 13 | 14 | 15 | 16 | 17 | 18 | 19 | 20 | 21 | 22 | 23 | 24 | 25 | 26 | 27 | 28 | 29 | 30 | 31 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 進氣壓力 | ≧6 | 7.7 | 7.7 | 7.6 | 7.6 | 7.5 | 7.6 | 7.8 | 7.8 | 7.6 | 7.6 | 7.6 | 7.6 | 7.8 | 7.8 | 7.6 | 7.6 | 7.6 | 7.6 | 7.8 | 7.8 | ||||||||||||
| FP廠-A錶 | 12235782 | 12245142 | 12255134 | 12265376 | 12275886 | 12286776 | 12296672 | 12305460 | 12313196 | 12322786 | 12332502 | 12342808 | 12349908 | 12358248 | 12368508 | 12378098 | 12388396 | 12398296 | 12407702 | 12417256 | |||||||||||||
| IC廠-B錶 | 72523398 | 73568754 | 746293 | 756454 | 766627 | 776857 | 786638 | 799.179 | 808287 | 818949 | 829403 | 840216 | 850571 | 860798 | 872202 | 882892 | 893979 | 904702 | 914316 | 924812 | |||||||||||||
| 氮氣總錶 | 30872358 | 30893250 | 30914938 | 30936325 | 30958087 | 30980183 | 31000875 | 31024195 | 31042198 | 31063675 | 31085104 | 31107572 | 31126826 | 31146795 | 31169848 | 31191450 | 31214011 | 31235958 | 31256217 | 31277840 | |||||||||||||
| 備註 | 1.(V)：正常／(X)：異常；有操作參數則需填入檢查數據。 2.若該設備無此項檢查項目時，請填寫NA。 3.此表單由廠房設施部存查，保存期限三年。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 紀錄者 | 洪耀懋 | 洪耀懋 | 王清雲 | 王清雲 | 王清雲 | 王清雲 | 張家韋 | 張家韋 | 王清雲 | 王清雲 | 王清雲 | 王清雲 | 張家韋 | 張家韋 | 王清雲 | 王清雲 | 王清雲 | 王清雲 | 張家韋 | 張家韋 | |||||||||||||
| 檢查項目 | 參考值 | 單位 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 | 12 | 13 | 14 | 15 | 16 | 17 | 18 | 19 | 20 | 21 | 22 | 23 | 24 | 25 | 26 | 27 | 28 | 29 | 30 | 31 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 進氣壓力 | ≧6 | 7.7 | 7.7 | 7.6 | 7.6 | 7.6 | 7.6 | 7.8 | 7.8 | 7.6 | 7.6 | 7.6 | 7.6 | 7.8 | 7.8 | 7.6 | 7.6 | 7.6 | NA | 7.8 | 7.8 | ||||||||||||
| FP廠-A錶 | 12238016 | 12247472 | 12257772 | 12267740 | 12278640 | 12289698 | 12298948 | 12306414 | 12315682 | 12325376 | 12335256 | 12344414 | 12351656 | 12360938 | 12370716 | 12380548 | 12390742 | NA | 12410544 | 12420376 | |||||||||||||
| IC廠-B錶 | 72821844 | 73869890 | 748977 | 759030 | 769202 | 779576 | 790001 | 800501 | 811095 | 821713 | 832157 | 842842 | 853132 | 863945 | 874868 | 885583 | 896558 | NA | 917536 | 928073 | |||||||||||||
| 氮氣總錶 | 30877918 | 30898993 | 30920460 | 30941545 | 30963618 | 30986050 | 31007046 | 31026665 | 31047779 | 31069283 | 31090970 | 31112289 | 31131484 | 31153058 | 31175045 | 31196833 | 31219238 | NA | 31262766 | 31284662 | |||||||||||||
| 備註 | 1.(V)：正常／(X)：異常；有操作參數則需填入檢查數據。 2.若該設備無此項檢查項目時，請填寫NA。 3.此表單由廠房設施部存查，保存期限三年。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 紀錄者 | 洪耀懋 | 洪耀懋 | 王清雲 | 王清雲 | 王清雲 | 王清雲 | 張家韋 | 張家韋 | 王清雲 | 王清雲 | 王清雲 | 王清雲 | 張家韋 | 張家韋 | 王清雲 | 王清雲 | 王清雲 | 張家韋 | 張家韋 | ||||||||||||||
| 檢查項目 | 參考值 | 單位 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 | 12 | 13 | 14 | 15 | 16 | 17 | 18 | 19 | 20 | 21 | 22 | 23 | 24 | 25 | 26 | 27 | 28 | 29 | 30 | 31 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 進氣壓力 | ≧6 | 7.5 | 7.5 | 7.5 | 7.5 | 7.7 | 7.7 | 7.7 | 7.7 | 7.5 | 7.5 | 7.7 | 7.7 | 7.7 | 7.7 | NA | 7.5 | 7.7 | NA | 7.7 | 7.7 | ||||||||||||
| FP廠-A錶 | 12241060 | 12250758 | 12260972 | 12271166 | 12283678 | 12294342 | 12301594 | 12309888 | 12318318 | 12328932 | 12339134 | 12347868 | 12355596 | 12365218 | NA | 12383740 | 12394792 | NA | 12414216 | 12424250 | |||||||||||||
| IC廠-B錶 | 731458 | 741970 | 752050 | 762368 | 77392624 | 78407407 | 79413950 | 80445994 | 814054 | 825348 | 83604473 | 84717186 | 85782963 | 86865312 | NA | 888968 | 90110253 | NA | 92153022 | 93270836 | |||||||||||||
| 氮氣總錶 | 30884508 | 30905844 | 30927007 | 30948689 | 30973876 | 30995663 | 31014603 | 31034590 | 31053731 | 31076817 | 31099195 | 31120608 | 31140782 | 31162627 | NA | 31203764 | 31228493 | NA | 31271009 | 31293840 | |||||||||||||
| 備註 | 1.(V)：正常／(X)：異常；有操作參數則需填入檢查數據。 2.若該設備無此項檢查項目時，請填寫NA。 3.此表單由廠房設施部存查，保存期限三年。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 紀錄者 | 康晉昇 | 康晉昇 | 康晉昇 | 康晉昇 | 洪耀懋 | 洪耀懋 | 洪耀懋 | 洪耀懋 | 康晉昇 | 康晉昇 | 洪耀懋 | 洪耀懋 | 洪耀懋 | 洪耀懋 | 康晉昇 | 洪耀懋 | 洪耀懋 | 洪耀懋 | |||||||||||||||