各廠區氮氣抄表記錄表SSD-GN2-RF-01

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設備巡檢紀錄 - 各廠區氮氣抄錶紀錄表

早班

檢查項目 參考值 單位 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31
進氣壓力 ≧6 7.4 7.5 7.5 7.6 7.572 7.536 7.5 7.441 7.6 7.5 7.665 7.577 7.528 7.5 7.5 7.5 7.36 7.401 7.623 7.56
氮氣總錶 5822699 5823712 5824710 5824712 5825179 5826035 5826847 5827952 5829281 5829650 5830346 5830347 5830347 2128552 5831669 5832146 5833740 5835310 5836756 5838052
備註 1.(V):正常/(X):異常;有操作參數則需填入檢查數據。 2.若該設備無此項檢查項目時,請填寫NA。 3.此表單由廠房設施部存查,保存期限三年。
紀錄者 張家韋 張家韋 張家韋 張家韋 黃立凱 黃立凱 黃立凱 楊植鈞 張家韋 張家韋 黃立凱 黃立凱 黃立凱 黃立凱 張家韋 張家韋 黃立凱 黃立凱 黃立凱 黃立凱

中班

檢查項目 參考值 單位 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31
進氣壓力 ≧6 7.4 7.5 7.5 7.3 7.6 7.4 7.5 7.442 75 7.4 7.626 7.6 7.5 7.5 7.6 7.4 7.45 NA 7.6 7.6
氮氣總錶 5823042 5823915 5824712 5825047 5825195 5826271 5826989 5828244 5829565 5829809 5830380 5830347 5830400 2128590 5831849 5832574 5833950 NA 5836790 5838100
備註 1.(V):正常/(X):異常;有操作參數則需填入檢查數據。 2.若該設備無此項檢查項目時,請填寫NA。 3.此表單由廠房設施部存查,保存期限三年。
紀錄者 張家韋 張家韋 張家韋 張家韋 黃立凱 黃立凱 黃立凱 楊植鈞 張家韋 張家韋 黃立凱 黃立凱 黃立凱 黃立凱 張家韋 張家韋 黃立凱 黃立凱 黃立凱

夜班

檢查項目 參考值 單位 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31
進氣壓力 ≧6 7.4 7.422 7.5 7.7 7.4 7.5 7.5 6.4 7.5 7.5 7.5 7.5 7.5 7.6 NA 7.4 7.4 NA NA 7.5
氮氣總錶 5823386 7676043 5824712 5825179 5825530 5826534 5826967 5828524 5829615 5830106 5830346 5830347 5830421 5831201 NA 5832759 5834654 NA NA 5838891
備註 1.(V):正常/(X):異常;有操作參數則需填入檢查數據。 2.若該設備無此項檢查項目時,請填寫NA。 3.此表單由廠房設施部存查,保存期限三年。
紀錄者 黃立凱 黃立凱 黃志銘 黃志銘 黃志銘 黃志銘 康晉昇 康晉昇 黃志銘 黃志銘 黃志銘 黃志銘 康晉昇 康晉昇 黃志銘 黃志銘 康晉昇

設備異常紀錄

此設備尚未開立異常單

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