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H2N2混合氣體機房AT-H2N2-1F-01
設備巡檢紀錄 - AT廠H2N2混合氣體機房檢查表
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檢查項目
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參考值
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單位
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1
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2
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3
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4
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5
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6
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7
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8
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9
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10
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11
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12
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13
|
14
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15
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16
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17
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18
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19
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20
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21
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22
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23
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24
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25
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26
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27
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28
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29
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30
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31
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目前使用狀態-A組 |
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V
|
V
|
V
|
V
|
V
|
V
|
V
|
V
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V
|
V
|
V
|
V
|
V
|
V
|
V
|
V
|
V
|
V
|
V
|
V
|
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目前使用狀態-B組 |
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NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
|
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A組壓力值 |
15~180 |
bar |
150.6 |
145.1 |
141.0 |
136 |
132 |
127.6 |
122.2 |
116.9 |
111.9 |
107.6 |
102.3 |
99.3 |
94.3 |
89.0 |
84.3 |
79.9 |
75.6 |
69.3 |
63.3 |
57.3 |
|
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|
|
|
|
|
|
|
|
|
B組壓力值 |
15~180 |
bar |
11.2
|
183.3
|
183.5
|
183
|
183.8
|
183.7
|
183.4
|
183.3
|
183.4
|
183.4
|
181.5
|
183.8
|
184.8
|
183.0
|
182.7
|
182.7
|
183.5
|
182.6
|
182.1
|
181.8
|
|
|
|
|
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|
|
|
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|
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|
產線使用點壓力值 |
4~5 |
bar |
4.5 |
4.5 |
4.6 |
4.4 |
4.5 |
4.4 |
4.5 |
4.5 |
4.5 |
4.4 |
4.5 |
4.5 |
4.4 |
4.5 |
4.5 |
4.5 |
4.4 |
4.4 |
4.4 |
4.5 |
|
|
|
|
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|
是否執行系統切換調壓閥動作 |
|
|
NA
|
NA
|
NA
|
V
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
NA
|
|
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設備是否有異常狀態 |
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V
|
V
|
V
|
V
|
V
|
NA
|
V
|
V
|
V
|
V
|
V
|
V
|
V
|
V
|
V
|
V
|
NA
|
V
|
V
|
V
|
|
|
|
|
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|
H2N2累計使用量 |
|
L/min |
459083825 |
459244956 |
459362707 |
459491395 |
459633670 |
459758549 |
459913932 |
460074925 |
460228920 |
460358529 |
460487984 |
460615470 |
460788880 |
460920304 |
461065156 |
461201160 |
461345375 |
461538100 |
461731213 |
461923835 |
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|
| 備註 |
1.(V)：正常／(X)：異常；有操作參數則需填入檢查數據。
2.若該設備無此項檢查項目時，請填寫NA。
3.此表單由廠房設施部存查，保存期限三年。
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| 紀錄者 |
楊植鈞
|
楊植鈞
|
楊植鈞
|
張家韋
|
黃立凱
|
黃立凱
|
楊植鈞
|
楊植鈞
|
楊植鈞
|
楊植鈞
|
黃立凱
|
黃立凱
|
黃立凱
|
楊植鈞
|
楊植鈞
|
楊植鈞
|
黃立凱
|
黃立凱
|
楊植鈞
|
楊植鈞
|
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