華泰廠設電子系統

檢查項目	參考值	單位	1	2	3	4	5	6	7	8	9	10	11	12	13	14	15	16	17	18	19	20
進口壓力		mmhg	-674	-674	-674	-674	-674	-671	-674	-674	-674	-674	-674	-674.	-674	-674	-674	-674	-674	-674	-674	-674
流量		%	47	47	51	47	54	54	53	52	59	57	64	52	50	49	52	68	54	51	52	49
泵排放		mmhg	-11	-11	-11	-9	-9	-11	-11	-13	-14	-19	-23	-17	-15	-13	-12	-11	-13	-13	-12	-13
主機出口温度	≦100	℃	67	67	72	68	72	73	73	72	75	76	74	73	71	69	73	75	75	70	72	69
實際功率		KW	15.5	16.1	17.7	15.4	18.4	18.7	18.6	17.9	19.7	19.8	18.5	17.6	17.3	16.1	17.7	19.3	17.9	16	17.5	16.1
油位檢查	≧1/3	油視鏡	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V
運行時間		Hr	30598	30623	30647	30671	30695	30719	30742	30770	30791	30814	30338	30863	30886	30910	30935	30959	30983	31007	31029	31053
備註	1.(V)：正常／(X)：異常；有操作參數則需填入檢查數據。 2.若該設備無此項檢查項目時，請填寫NA。 3.此表單由廠房設施部存查，保存期限三年。
紀錄者			洪耀懋	洪耀懋	王清雲	王清雲	王清雲	王清雲	張家韋	張家韋	王清雲	王清雲	王清雲	王清雲	張家韋	張家韋	王清雲	王清雲	王清雲	王清雲	張家韋	張家韋

Atlas GHS 1900 VSD真空機HQ-HVA-B2-05