華泰廠設電子系統

檢查項目	參考值	單位	1	2	3	4	5	6	7	8	9	10	11	12	13	14	15	16	17	18	19	20
進口壓力		mmhg	-660	-660	-660	-660	-660	-660	-660	-660	-660	-660	-660	-660	-660	-660	-660	-660	-660	-660	-660	-660
流量		%	62	64	62	63	61	62	70	67	67	66	64	65	65	65	62	60	64	59	60	64
泵排放		mmhg	58	61	61	60	60	59	63	61	59	54	48	56	56	59	59	58	59	55	59	59
主機出口温度	≦100	℃	86	86	86	86	86	86	87	85	85	85	86	86	86	85	86	86	86	86	86	86
實際功率		KW	38.4	39.8	38.5	38.2	38.2	38.8	42.7	42.1	42.3	41.4	39.7	41.1	39.9	40.9	37.9	37.1	38.5	35.8	36.8	40.5
油位檢查	≧1/3	油視鏡	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V	V
運行時間		Hr	36638	36663	36687	36712	36737	36760	36784	36807	36832	36856	36882	36905	36929	36952	36975	37000	37025	37050	37073	37096
備註	1.(V)：正常／(X)：異常；有操作參數則需填入檢查數據。 2.若該設備無此項檢查項目時，請填寫NA。 3.此表單由廠房設施部存查，保存期限三年。
紀錄者			楊植鈞	楊植鈞	楊植鈞	張家韋	黃立凱	黃立凱	楊植鈞	楊植鈞	楊植鈞	楊植鈞	黃立凱	黃立凱	黃立凱	楊植鈞	楊植鈞	楊植鈞	黃立凱	黃立凱	楊植鈞	楊植鈞

Atlas GHS 1900 VSD真空機AT-HVA-B2-04